空氣過濾器的選用:淨化空調係(xì)統根據(jù)大氣含塵濃度、大氣中各種汙(wū)染物濃度和產品生產工藝特點及要求配置各類(lèi)空氣過濾器——粗效、中效、高中效、亞(yà)高(gāo)效(xiào)和高效、超高效以及化學過濾器等。
具體淨化空調係統中空氣過濾器的配置和選用應根據潔淨室的空氣潔淨度等級和產(chǎn)品(pǐn)生產工藝的特殊要求(當工藝無特殊要求時(shí),一般都是(shì)按空氣潔淨度等級配置)合理配置和選用,對於6級(1 000級)和比6級潔淨度差(chà)的潔淨室的淨化空調係統通常(cháng)采用三(sān)級空氣過濾,即粗效、中效和高效過濾器(qì);粗效、中(zhōng)效(或中(zhōng)高效)過濾器,通常設在空(kōng)氣處理裝置(AHU)內,且(qiě)將中效或中高效設在正壓段;高效或亞高效過濾器一般設在(zài)潔淨室內淨化空調係統的末端,也有將高效過濾器集中設在集(jí)中的空氣(qì)處理裝(zhuāng)置(AHU)內,但此時應對送風管道提出(chū)嚴格的清潔要求,以避免淨化後的空氣被汙染。
對於5級(100級(jí))和更嚴格的潔淨室的淨化空調係統中空氣(qì)過濾器的配置,應根據潔淨室的總體設計方(fāng)案及采用的淨化空調係統(tǒng)的要求配置各類過濾器(qì),比如(rú)有的(de)集成電路生(shēng)產用(yòng)4級(O.ltim)和更嚴要求的潔淨室采用新風集中處(chù)理,為了嚴格去除大(dà)氣中的微粒和各種汙(wū)染物,通常在(zài)新風處理裝置中設置粗效、中效(xiào)(中高效)、亞高效甚至高效(xiào)過濾器和化學過濾器或水噴淋裝置等;在潔淨室的循環風係統還設有高效、超高效和化學過濾器等;有的集成電路生(shēng)產用潔淨室還在(zài)生產過程的某些生產區、生產工序或工藝設備設微環境裝置,以確保產品生產所需的空氣潔淨度要求。


客(kè)服1